特徴
弊社では、対象材料の特性に応じて様々な搬送容器の設計製作や、容器搬送ライン、容器管理の自動倉庫システムを構築する事が可能です。
- 搬送容器と真空系と接合するフランジクランパー
- 外部駆動によるバルブ開閉ユニット、密閉確認装置
- 駆動系ユーティリティの供給ユニット
標準対応
オプション対応
※上記オプション対応が可能です。各仕様は、別途詳細打ち合わせに基づき決定致します。弊社営業マンにお問い合わせ下さい。
仕様・シリーズ
| 型式 | フランジ径 (A) |
圧力域 (Pa) |
駆動系 | 外形寸法 (mm) | |||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 機長L | 機幅W | 全高H | |||||
| VFC-150 | 150 | 0.1〜0.2M | エア/電気 | レイアウト・対象形状により各項決定。 | |||
| VFC-200 | 200 | 0.1〜0.2M | エア/電気 | ||||
| VFC-250 | 250 | 0.1〜0.2M | エア/電気 | ||||





